池田屋新品VAT 59.0 UHV全金屬可變泄漏閥59024-GE01正式發布

摘要：
近日，池田屋實業有限公司宣布正式推出瑞士VAT公司59.0系列UHV全金屬可變泄漏閥（型號：59024-GE01）。該產品采用全金屬設計與鍍金不銹鋼膜片密封技術，可精確控制極小氣體流量（1×10?1?mbar·L/s至500mbar·L/s），壓力范圍覆蓋UHV至10bar（絕對壓力），泄漏率低于1×10?1?mbar·L/s，適配DN 16（?英寸）口徑與CF-R可旋轉法蘭。該型號專為超高真空與超高真空工藝中的高精度氣體計量應用設計，為科研與制造領域提供精確可重復的氣體流量控制解決方案。

正文：

在表面科學、薄膜沉積、離子注入及質譜分析等超高真空（UHV）與超高真空（XHV）工藝中，精確可控的微量氣體引入是實現工藝優化的關鍵環節。無論是反應氣體的精確配比、背景氣體的精細調節，還是泄漏率的精確測量，都需要能夠在極小流量范圍內實現高精度、高可重復性控制的泄漏閥。傳統彈性體密封泄漏閥在超高真空環境下存在釋氣與密封疲勞問題，難以滿足真空應用的需求。針對這一行業需求，池田屋實業有限公司正式引入瑞士VAT公司59.0系列UHV全金屬可變泄漏閥（型號：59024-GE01）。該產品的推出，為超高真空與超高真空工藝提供了兼具高精度氣體計量、全金屬密封與長壽命的綜合解決方案。

型號59024-GE01的核心技術優勢在于其全金屬設計、寬范圍可調氣體流量與高精度控制的協同配合。該產品采用全金屬設計——高級不銹鋼閥體與鍍金不銹鋼膜片閘密封，具有優異的耐腐蝕性與抗侵蝕性氣體能力，可避免密封疲勞風險，在整個使用壽命期間提供可靠的密封性能。可調節氣體流量范圍覆蓋1×10?1?mbar·L/s至500mbar·L/s，可精確控制極小的氣體流量，滿足超高真空工藝對微量氣體引入的嚴苛要求。特殊控制功能可確保氣體流量設定的精確性和可重復性，增強過程控制能力。壓力范圍覆蓋UHV至10bar（絕對壓力），泄漏率低于1×10?1?mbar·L/s。適配DN 16（?英寸）口徑與CF-R可旋轉法蘭，角閥死體積（閥座側/側端口）分別為2.7cm3/1.1cm3。執行器為手動操作（手輪），配備可視（機械）位置指示。閥體最高烘烤溫度300℃，手動執行器最高300℃，帶步進電機控制器最高50℃。在潔凈條件下，密封關閉循環壽命達10,000次，控制循環達400,000次，無需維修，隔膜可作為備件輕松更換。

在結構設計與操作靈活性層面，59024-GE01同樣表現。產品提供角閥與直通閥兩種版本，執行器可選手動操作或集成式/可拆卸式步進電機壓力控制器。配備可拆卸式控制器時，閥門可在最高300℃下烘烤（控制器拆卸后）。

從典型應用場景來看，型號59024-GE01適用于表面科學分析系統中的微量氣體引入、薄膜沉積工藝的反應氣體精確配比、離子注入設備的氣體流量控制，以及質譜與氣體分析系統的標準氣體泄漏校準等場景。池田屋技術團隊指出，59.0系列在精密測量與自動化控制方面表現穩健，是超高真空高精度氣體計量應用的理想選擇。

池田屋實業有限公司表示，此次將VAT 59.0系列UHV全金屬可變泄漏閥59024-GE01引入國內市場，旨在為本土科研與制造企業提供兼具高精度氣體計量與全金屬密封的真空流體管理解決方案。未來，池田屋將持續圍繞精密測量、自動化控制與流體管理三大方向深耕，助力中國超高真空技術的裝備升級與效能提升。