池田屋新品VAT 29.2 HV帶軟啟動功能角閥正式發(fā)布

摘要：
近日，池田屋實業(yè)有限公司宣布正式推出瑞士VAT公司29.2系列HV帶軟啟動功能角閥。該產(chǎn)品將主閥與旁通閥集成于單一緊湊組件，壓力范圍覆蓋1×10??mbar至2bar（絕對壓力），泄漏率低于1×10??mbar·L/s，適配DN 100（4英寸）與DN 160（6英寸）口徑，法蘭標(biāo)準(zhǔn)為ISO-KF與ISO-K，閥體材質(zhì)可選鋁或不銹鋼。通過旁通閥的逐步開啟，有效避免湍流與冷凝現(xiàn)象，特別適用于大流量負(fù)載鎖定腔室的抽真空過程，為敏感生產(chǎn)工藝提供精確可控的軟啟動隔離解決方案。

正文：

在半導(dǎo)體制造、平板顯示及太陽能電池生產(chǎn)等真空工藝中，負(fù)載鎖定腔室的快速抽真空是提升生產(chǎn)效率的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。然而，當(dāng)閥門在大壓差條件下突然開啟時，高速氣流會產(chǎn)生湍流，可能攪動顆粒物并導(dǎo)致微粒污染，同時急劇的壓力變化可能引發(fā)冷凝效應(yīng)，對工藝參數(shù)產(chǎn)生不利影響。傳統(tǒng)單一閥門在軟啟動功能與流量調(diào)節(jié)范圍方面存在局限。針對這一行業(yè)需求，池田屋實業(yè)有限公司正式引入瑞士VAT公司29.2系列HV帶軟啟動功能角閥。該產(chǎn)品的推出，為大流量敏感生產(chǎn)工藝提供了兼具可調(diào)軟啟動功能、大電導(dǎo)范圍與緊湊設(shè)計的真空隔離解決方案。

型號29.2的核心技術(shù)優(yōu)勢在于其主閥與旁通閥一體化集成設(shè)計及可調(diào)軟啟動功能的創(chuàng)新結(jié)合。該產(chǎn)品將主閥與旁通閥組合于單一緊湊組件中，通過旁通閥的逐步開啟實現(xiàn)軟啟動效果，有效避免湍流與冷凝現(xiàn)象。閥門側(cè)面的調(diào)節(jié)輪可對軟啟動效果進行精細(xì)調(diào)節(jié)，配備11個位置標(biāo)記，便于精確校準(zhǔn)與參數(shù)復(fù)現(xiàn)，確保不同閥門間設(shè)定的一致性。壓力范圍覆蓋1×10??mbar至2bar（絕對壓力），泄漏率低于1×10??mbar·L/s。適配DN 100（4英寸）與DN 160（6英寸）口徑，主閥與旁通閥提供多種組合（DN 100/DN 25旁通，DN 160/DN 25、DN 40或DN 63旁通）。法蘭標(biāo)準(zhǔn)為ISO-KF與ISO-K，閥體材質(zhì)可選鋁或不銹鋼。關(guān)閉方向壓差≤2.0bar，開啟方向壓差≤1.2bar，開口處壓差≤1bar。閥體最高耐受溫度150℃，執(zhí)行器最高80℃。

在結(jié)構(gòu)設(shè)計與操作靈活性層面，29.2系列同樣表現(xiàn)。產(chǎn)品提供氣動單作用常閉與雙作用兩種執(zhí)行器選項，配備可視位置指示與電信號輸出。可選配集成PTC加熱器，適用于易發(fā)生冷凝的溫度敏感工藝。模塊化設(shè)計便于快速簡便的維護操作。

從典型應(yīng)用場景來看，29.2系列適用于半導(dǎo)體負(fù)載鎖定腔室的抽真空控制、平板顯示制造中的大流量真空隔離、太陽能電池生產(chǎn)的真空工藝，以及各類需要避免湍流與冷凝的敏感真空工藝等場景。池田屋技術(shù)團隊指出，29.2系列在精密測量與自動化控制方面表現(xiàn)穩(wěn)健，是大流量敏感真空工藝軟啟動隔離應(yīng)用的理想選擇。

池田屋實業(yè)有限公司表示，此次將VAT 29.2系列HV帶軟啟動功能角閥引入國內(nèi)市場，旨在為本土半導(dǎo)體與制造企業(yè)提供兼具可調(diào)軟啟動功能與緊湊設(shè)計的真空隔離流體管理解決方案。未來，池田屋將持續(xù)圍繞精密測量、自動化控制與流體管理三大方向深耕，助力中國真空技術(shù)的裝備升級與效能提升。