池田屋精品！日本新宇宙PS-8系列Cosmos型氣體檢測裝置

池田屋精品！日本新宇宙PS-8系列Cosmos型氣體檢測裝置 賦能半導體工廠特氣安全智能監控

摘要： 在半導體制造過程中，硅烷、氫氣、砷化氫等特殊材料氣體的泄漏檢測是保障人員安全與生產連續性的核心環節。池田屋全新引入的日本新宇宙（Shin-Cosmos）PS-8系列Cosmos型氣體檢測裝置，采用Cosmos系統（可更換校準傳感器）與泵吸式主動采樣，支持恒電位電解式、熱絲半導體式及原電池式等多種檢測原理，標配Modbus/TCP以太網通信與PoE供電，為半導體工廠的特氣安全監控提供了高靈活性、低維護成本的智能化解決方案。

正文：

在半導體晶圓制造、薄膜沉積及刻蝕工藝中，硅烷（SiH?）、氫氣（H?）、砷化氫（AsH?）及磷化氫（PH?）等特殊材料氣體被廣泛使用。這些氣體中相當一部分具有高毒性或易燃易爆特性，其泄漏檢測直接關系到人員的生命安全與生產的連續性。傳統的固定式氣體檢測裝置在傳感器的長期穩定性和現場校準維護方面存在局限。為滿足半導體行業對特氣安全監控的高可靠性需求，池田屋引入日本新宇宙（Shin-Cosmos）PS-8系列Cosmos型氣體檢測裝置。

新宇宙電氣株式會社成立于1960年，是氣體檢測設備制造商。PS-8系列是其面向半導體工廠開發的Cosmos型氣體檢測裝置，采用始于1997年的Cosmos系統——通過更換預校準的傳感器單元，無需在安裝現場進行氣體校準，從而有效降低運營成本并確保測量的可靠性。

在核心性能方面，PS-8系列根據目標氣體的不同，可搭載恒電位電解式（適用于毒性氣體）、熱絲半導體式（適用于氫氣、甲烷等可燃氣體，壽命更長）及原電池式（適用于氧氣）等多種傳感器原理。該系列采用泵吸式主動采樣（約0.5L/min±20%），通過自動吸入流量控制確保采樣穩定性。代表性檢測范圍涵蓋可燃氣體0-2000ppm及氧氣0-25vol%，適配半導體工廠常見特氣類型。

PS-8系列由主機（PS-8N/PS-8M）與子機（PS-8S）組成。PS-8N支持DC24V供電與RS485（Modbus-RTU）擴展通信；PS-8M支持以太網（Modbus/TCP）與PoE供電，一臺PS-8M可管理多個PS-8S子機，實現按需組合不同傳感器的靈活配置。主機配備大尺寸高清晰度LCD液晶顯示屏，氣體濃度、報警狀態、流量狀態及氣體名稱等一目了然。氣體濃度模擬信號（DC4-20mA）與氣體報警觸點（1a干接點）可輸出至DCS/PLC或聯動聲光報警器。

在結構設計方面，PS-8系列從正面即可完成傳感器更換操作，維護便捷。尺寸為W70×H124×D172mm，主機重約850g，子機約770g。該系列為非防爆型，工作溫度0-40℃，濕度30-85%RH（無冷凝）。

在應用場景方面，PS-8系列廣泛適用于半導體晶圓制造的硅烷、氫氣等特氣泄漏檢測、薄膜沉積與刻蝕工藝的氣體監控、化合物半導體（GaAs、InP）制造的特氣安全監測，以及光伏太陽能電池生產的硅烷氣體泄漏檢測。

行業觀察人士指出，在半導體制造的特氣安全管理中，具備高靈活性、低維護成本與網絡通信能力的固定式氣體檢測系統，是保障生產安全與連續性的關鍵裝備。池田屋此次引入的新宇宙PS-8系列Cosmos型氣體檢測裝置，以其Cosmos系統免現場校準、泵吸式主動采樣、Modbus/TCP以太網通信及PoE供電等核心優勢，為國內半導體與光伏行業的特氣安全監控提供了高效智能的解決方案。

綜合來看，該系列產品的推廣應用，有助于提升半導體工廠特氣泄漏檢測的可靠性與智能化水平，為半導體制造與新能源產業的安全生產提供堅實的技術支撐。