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產品分類
Product CategoryULVAC愛發科推出的 DIS-90 渦旋式干泵，是一款采用雙繞式渦旋結構的兩階段干式真空泵。型號 DIS-90 設計排氣速度 90 L/min（50Hz）/ 108 L/min（60Hz），極限壓力可達 5 Pa，具備從大氣壓到極限壓力全范圍運行能力。該產品采用無油渦旋設計，低振動、低噪音，維護周期可通過計時表控制，適用于分析設備、氣體回收系統、鍍膜設備及半導體制造工藝等應用場景。
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| 型號 | DIS-90 |
| 設計排氣速度（50Hz） | 90 L/min |
| 設計排氣速度（60Hz） | 108 L/min |
| 極限壓力 | 5 Pa |
| 電動機 | 單相 100/115/200/230V，150W，4P 電容器啟動·運行 |
| 全負荷電流（50Hz） | 2.6/1.3 A（100/200V） |
| 全負荷電流（60Hz） | 2.1/2.2/1.1/1.1 A（100/115/200/230V） |
| 重量 | 14 kg |
| 吸氣口徑 | KF-25 |
| 排氣口徑 | KF-16 |
| 使用環境溫度 | 5 ～ 40℃ |
| 水蒸氣處理量 | ≤ 5 g/day（AF 開時，室溫25℃，濕度60%以下） |
| 噪音水平 | ≤ 52 dB（AF 開時）/ ≤ 57 dB |
| 最大尺寸 | 214(W) × 308(L) × 225(H) mm |
1. 雙繞式渦旋結構
采用 1 根軌道螺旋和 2 根固定螺旋的雙繞式設計，實現高效排氣和優異的極限真空度。
2. 干式無油設計
泵腔內無油運行，排氣清潔，不會發生真空油的返流和油霧，適用于對清潔度要求高的工藝。
3. 全壓力范圍運行
可從大氣壓力到極限壓力范圍內連續運行，無需旁通管路。
4. 低振動·低噪音
噪音水平 ≤ 52 dB（AF 開時），適合在實驗室和安靜環境中使用。
5. 空氣沖洗功能
通過空氣沖洗（Air Flash）操作，可排出殘留在泵中的水分，并具有恢復極限壓力的效果。
6. 內置安全保護
配備自動復位型熱保護器等安全設計，防止電機過載。
7. 緊湊輕量
重量僅 14kg，外形小巧，便于安裝在有限空間內。
| 型號 | 認證標準 | CE 自我宣言 | 1Φ 100V系 | 1Φ 200V系 | 3Φ 200V系 | 3Φ 400V系 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| DIS-90 | cTUVus | ● | ●（可通過更換端子板切換） | — | — | — |
注：cTUVus 認證表示本產品已通過國際第三方產品安全測試和認證，符合美國標準。
| 應用領域 | 說明 |
|---|---|
| 分析設備 | 質譜儀、電子顯微鏡等的前級泵 |
| 氣體回收系統 | 稀有氣體的回收與循環 |
| 鍍膜設備 | 濺射、蒸鍍等真空鍍膜工藝 |
| 渦輪分子泵前級泵 | 作為 TMP 的前級泵使用 |
| 氦檢漏儀 | 檢漏系統的真空泵 |
| 半導體制造工藝 | 無油清潔環境下的排氣 |
電源條件：單相 100V/200V 系，可通過更換端子板切換電壓
排氣速度需求：50Hz 下 90 L/min，60Hz 下 108 L/min
安裝環境：僅限室內使用，環境溫度 5～40℃
水蒸氣處理：有少量水蒸氣時，可通過空氣沖洗功能（AF 開）將處理量提高至 5 g/day
排氣成分：不適用于爆炸性、易燃性、有毒或腐蝕性氣體
吸入粉末或生成物會導致泵損壞，請使用吸氣阱
禁止抽排有害、爆炸性、易燃性或腐蝕性氣體，否則可能導致故障、爆炸或火災
僅供室內使用，請勿安裝于下雨或淹水的地方或室外
維護周期可通過計時表控制，建議定期進行檢查和保養
空氣沖洗操作不僅排出殘留在泵中的水，還具有恢復極限壓力的效果
ULVAC DIS-90 渦旋式干泵通過雙繞式渦旋結構和干式無油設計，為分析設備、鍍膜工藝及半導體制造等應用提供了一套清潔、低噪音的真空解決方案。其 90 L/min 的排氣速度、5 Pa 的極限壓力及 52 dB 的低噪音水平，適用于需要清潔真空和安靜運行環境的各類工業和研究場景。
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