池田屋原裝愛(ài)發(fā)科 真空泵  CR300B產(chǎn)品介紹技術(shù)參

愛(ài)發(fā)科CR300B是一款多級(jí)羅茨型干式真空泵，屬于CR系列Ver.B中的大抽速型號(hào)，憑借無(wú)油潔凈的運(yùn)行特性、高效的抽氣能力和廣泛的適配性，成為工業(yè)與科研領(lǐng)域真空解決方案的優(yōu)選設(shè)備。該泵通過(guò)了CE、cTUVus國(guó)際安全合規(guī)認(rèn)證，可在全球范圍內(nèi)的半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析儀器等場(chǎng)景穩(wěn)定運(yùn)行，尤其適配對(duì)真空潔凈度和抽氣效率要求嚴(yán)苛的中高真空需求場(chǎng)景。

二、核心工作原理

CR300B采用多級(jí)羅茨壓縮結(jié)構(gòu)，泵殼內(nèi)配置兩支三葉截面轉(zhuǎn)子，通過(guò)齒輪驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)反向同步旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)子與殼體、轉(zhuǎn)子之間保持微米級(jí)間隙，全程無(wú)接觸運(yùn)行。氣體從進(jìn)氣口進(jìn)入第一級(jí)轉(zhuǎn)子腔室后，隨轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)完成吸入、輸送與初步壓縮，再通過(guò)級(jí)間流道進(jìn)入后續(xù)壓縮級(jí)，逐級(jí)提升壓力后從排氣口排出。這種多級(jí)壓縮設(shè)計(jì)讓泵可直接從大氣壓力啟動(dòng)，無(wú)需前級(jí)泵輔助，且通過(guò)精密密封件隔離軸承與齒輪的潤(rùn)滑油，從根源杜絕油霧返流，確保真空環(huán)境清潔無(wú)油。

三、關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)

CR300B在CR系列中主打大抽速性能，抽速可達(dá)300m3/h，覆蓋了CR16B（16m3/h）至CR60B（55m3/h）無(wú)法滿足的中高吞吐率場(chǎng)景。其極限真空性能優(yōu)異，搭配氣鎮(zhèn)機(jī)構(gòu)時(shí)，最大水蒸氣處理量可達(dá)500g/h，能高效應(yīng)對(duì)含濕氣體環(huán)境。泵體采用空冷散熱設(shè)計(jì)，無(wú)需冷卻水與氮?dú)廨o助，搭載的DC密封電機(jī)兼具低功耗、高氣密性與輕量化特點(diǎn)，整機(jī)重量控制合理，適配緊湊空間集成需求。

四、核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)

1. 無(wú)油潔凈運(yùn)行

泵腔內(nèi)部無(wú)真空油參與，轉(zhuǎn)子非接觸式設(shè)計(jì)消除了機(jī)械磨損，既延長(zhǎng)了設(shè)備使用壽命，又避免了油霧污染，適配半導(dǎo)體芯片制造、精密光學(xué)鍍膜等對(duì)雜質(zhì)敏感的工藝。

2. 低成本運(yùn)維

空冷設(shè)計(jì)省去了冷卻水循環(huán)系統(tǒng)的安裝與維護(hù)成本，無(wú)需軸封氮?dú)獾容o助氣體，日常運(yùn)維僅需常規(guī)檢查，相比傳統(tǒng)油泵大幅降低了長(zhǎng)期運(yùn)營(yíng)支出。

3. 高效節(jié)能可選

可選配ECO-SHOCK節(jié)能裝置，安裝于排氣線路后，可在不影響抽氣性能的前提下降低最高80%的功耗，同時(shí)抑制泵體發(fā)熱量，間接減少車(chē)間空調(diào)能耗，適合連續(xù)運(yùn)行的工業(yè)場(chǎng)景。

4. 環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)

氣鎮(zhèn)機(jī)構(gòu)可防止水蒸氣在泵腔凝結(jié)，提升對(duì)真空干燥、食品凍干等含濕工藝的適配能力；寬溫域運(yùn)行設(shè)計(jì)與良好的粉塵耐受度，讓設(shè)備可在復(fù)雜工業(yè)環(huán)境中穩(wěn)定工作。

五、典型應(yīng)用場(chǎng)景

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，CR300B可用于光刻、蝕刻、薄膜沉積等工藝的真空排氣，抽取空氣、惰性氣體等潔凈介質(zhì)；在真空鍍膜行業(yè)，為濺射、蒸鍍?cè)O(shè)備提供快速抽氣與高潔凈真空環(huán)境，保障鍍膜均勻性；在科研與分析儀器領(lǐng)域，適配質(zhì)譜儀、電子顯微鏡等設(shè)備的真空系統(tǒng)需求；此外，還可應(yīng)用于食品真空包裝、醫(yī)藥凍干等場(chǎng)景，滿足不同行業(yè)對(duì)真空環(huán)境的多樣化需求